华为公司申请角速度检测专利可实现多轴角速度的检测

　　加速度瞬心铜套节流阀单排滚子链多孔质轴承压边滑块滑雪用具轴角专利摘要显示，本申请提供了一种用于检测角速度的装置、方法和系统，属于微机电系统MEMS传感器、惯性器件技术领域，以实现对多轴角速度的检测。该装置包括：第一检测单元、第二检测单元、第三检测单元、第四检测单元和弹性耦合单元。弹性耦合单元用于产生四波腹运动，当外界角速度输入装置时，检测单元能够在沿第三轴发生第一位移时输出第一信号，第一位移用于确定角速度的大小。本申请所揭示的装置，通过弹性耦合单元的四波腹运动，耦合四个检测单元实现平面内正交两个方向的线运动，能够实现多轴角速度的检测，同时四个检测单元两两中心对称分布，有助于提高集成度、灵敏度、水平双轴性能的一致性，降低交叉轴耦合误差。